边缘夹持器/末端执行器。

根据晶圆翘曲度的不同，可提供不同类型的抓手：

1. 真空超薄型抓手（兼容翘曲：±1mm ；匹配真空型机器人；抓手材质可定制）

2. 真空吸盘型抓手 （兼容翘曲： ±5mm；匹配真空型机器人；吸盘材质可定制）

3. 伯努利接触式抓手  （兼容翘曲： ±7mm；兼容薄片、厚片；吸盘材质可定制）

4. 伯努利非接触夹持式抓手  （兼容翘曲： ±7mm；适用于减薄晶圆；不接触晶圆表面）

5. 边缘夹持型抓手  （兼容翘曲： 可定制；适用于单一尺寸晶圆；不接触晶圆表面）