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PRODUCT DETAILS

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Conveyor（输送带）
    发布时间: 2022-06-21 13:10    

Conveyor 用于特定场合的 FOUP 传输，可以单独 存在，也可以搭配天车起到衔接物料的作用。 

通过 HIMC 的 CV，可实现跨 FAB 之间的传输，内 置的 CV-C 可实现与 MCS 的交互。


项目

SPEC

运载对象

 FOUP/切割料盒

最大载荷(kg)

 25kg

驱动方式

 正时皮带

移动速度

 300mm/s

洁净度

 Class 100

振动

 <1.0G

厂务供电

 1P 220V