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威斯尼斯人wns2299登录(嘉兴)智能装备有限公司

HuaXin(JiaXing) Intelligent Manufacturing Co.LTD

   

项目详情

PRODUCT DETAILS

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Stocker(自动保管仓库)
    发布时间: 2022-06-21 11:47    

Stocker 系半导体工厂的自动保管仓库,具备多层存放空间,主要用于半导体工厂的 FOUP 自动化搬送、存 储,实现晶圆在工艺之间的流转。

HIMC 的 Stocker 具备可靠的安全设计和碰撞保护功能,能有效保护 FOUP、晶圆、人身安全。标准的 SEMI 接口,可有效对接 MCS 系统,同时可根据客户的要求,定制功能及尺寸。同时公司为客户提供 NTB(机台缓 冲存储设备)、OHB(空中缓存站)等独立或与天车系统进行物理交互的缓存设备,根据客户具体情况提供不 同形式、规格的自动存储方案,有效提升 FAB 厂的空间利用率和传送效率。


项目

SPEC

运载对象

 FOUP

最大载荷(kg)

 25kg

驱动方式

 Crane Robot

洁净度 

 Class 100

振动

 <1.0G

走行速度

 2m/s

升降速度

 2m/s

伸缩速度

 500mm/s

高架地板上尺寸

 4100*1500*3000(H)  (*可订制化)

厂务供电

 3P 380V