威斯尼斯人wns2299登录(嘉兴)智能装备有限公司
HuaXin(JiaXing) Intelligent Manufacturing Co.LTD
项目详情
PRODUCT DETAILS
Stocker 系半导体工厂的自动保管仓库,具备多层存放空间,主要用于半导体工厂的 FOUP 自动化搬送、存 储,实现晶圆在工艺之间的流转。
HIMC 的 Stocker 具备可靠的安全设计和碰撞保护功能,能有效保护 FOUP、晶圆、人身安全。标准的 SEMI 接口,可有效对接 MCS 系统,同时可根据客户的要求,定制功能及尺寸。同时公司为客户提供 NTB(机台缓 冲存储设备)、OHB(空中缓存站)等独立或与天车系统进行物理交互的缓存设备,根据客户具体情况提供不 同形式、规格的自动存储方案,有效提升 FAB 厂的空间利用率和传送效率。
项目
SPEC
运载对象
FOUP
最大载荷(kg)
25kg
驱动方式
Crane Robot
洁净度
Class 100
振动
<1.0G
走行速度
2m/s
升降速度
伸缩速度
500mm/s
高架地板上尺寸
4100*1500*3000(H) (*可订制化)
厂务供电
3P 380V