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Load Port(装载机端口)
    发布时间: 2022-05-04 11:40    

Load Port 是安装在 Sorter/EFEM 前端的接口模块,是晶圆进出设备的通道可通过与 AMHS 系统集成实 现全自动化。

HIMC 自研的 Load Port 具备高度可靠性、安全性,可最大程度实现交互操作性,兼容范围广,易于配置, 同时在搬运过程中可有效保持 wafer 的洁净度。