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威斯尼斯人wns2299登录(嘉兴)智能装备有限公司

HuaXin(JiaXing) Intelligent Manufacturing Co.LTD

   

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PRODUCT DETAILS

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OHT(自动搬运设备)
    发布时间: 2022-05-04 11:41    

AMHS 系统的搬送单元主要有搬送车辆 OHT(OVERHEAD HOIST TRANSPORT)和轨道组成,故 AMHS 系统也俗称为“天车系统”。OHT 在轨道下方运行,可以为 FAB 厂节约更多空间 ; 到达目的地后,OHT 通过 控制机械手臂抓取 FOUP,使“Tools to Tools”的搬送更加智能。

 HIMC 自 2017 年开始自主研发 OHT,目前已自主迭代至第四代。HIMC 天车不仅已通过 SEMI 认证,更 通过实际运行积累了海量“负载量产”数据,核心性能匹配日系友商,可靠性、稳定性亦取得客户认证,不仅 具备标准 12 寸 FAB 厂的设计安装交付经验,也具备给低天花板的厂房及旧厂房进行改造的经验。

项目

HIMC

稳定性

MTBF

≥2000hr

UPTIME

≥99.999%

MTTR

≤10min

安全性

阻燃等级

所有原辅物料选型满足半导体晶圆厂对阻燃等级的规范标准

静电防护

静电防护符合SEMI规范

天车及FOUP防护

具有防碰撞保护、距离检测、碰撞紧急停止机制、障碍物检测、防止坠落保护、晃动检测、夹持精准度检测等多重防护及报警措施

定制开发

6'、8'、12'多种尺寸Wafer客制化开发,AMHS全系统产品定制化搭配研发交付