威斯尼斯人wns2299登录(嘉兴)智能装备有限公司
HuaXin(JiaXing) Intelligent Manufacturing Co.LTD
项目详情
PRODUCT DETAILS
AMHS 系统的搬送单元主要有搬送车辆 OHT(OVERHEAD HOIST TRANSPORT)和轨道组成,故 AMHS 系统也俗称为“天车系统”。OHT 在轨道下方运行,可以为 FAB 厂节约更多空间 ; 到达目的地后,OHT 通过 控制机械手臂抓取 FOUP,使“Tools to Tools”的搬送更加智能。
HIMC 自 2017 年开始自主研发 OHT,目前已自主迭代至第四代。HIMC 天车不仅已通过 SEMI 认证,更 通过实际运行积累了海量“负载量产”数据,核心性能匹配日系友商,可靠性、稳定性亦取得客户认证,不仅 具备标准 12 寸 FAB 厂的设计安装交付经验,也具备给低天花板的厂房及旧厂房进行改造的经验。
项目
HIMC
稳定性
MTBF
≥2000hr
UPTIME
≥99.999%
MTTR
≤10min
安全性
阻燃等级
所有原辅物料选型满足半导体晶圆厂对阻燃等级的规范标准
静电防护
静电防护符合SEMI规范
天车及FOUP防护
具有防碰撞保护、距离检测、碰撞紧急停止机制、障碍物检测、防止坠落保护、晃动检测、夹持精准度检测等多重防护及报警措施
定制开发
6'、8'、12'多种尺寸Wafer客制化开发,AMHS全系统产品定制化搭配研发交付